精密和超精密加工技术第2版 教学课件 袁哲俊 哈尔滨工大 主编 第8章微细加工技术.pdfVIP

第八章 微细加工技术 第一节微细加工技术的出现 •制造技术是直接创造财富的基础，是国民经济 得以发展和制造业本身赖以生存的主体技术。 •现代制造技术的发展有两大趋势 ：一是向着自 动化、柔性化、集成化、智能化等方向发展， 使现代制造成为一个系统，即现代制造系统的 自动化技术；另一个就是寻求固有制造技术的 自身加工极限。 •微细加工技术是制造微小尺寸零件的加工技术。 微小机械学发展 微机械或微电子机械系统(MEMS)是20 世纪80年代后期发展起来的一门新兴学 科。它给国民经济、人民生活和国防、 军事等带来了深远的影响，被列为21世 纪关键技术之一。 微小机械学发展 随着微/纳米科学与技术的发展，以形状尺寸 微小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人 们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新 技术。 微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业 而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航 天、精密仪器、生物医疗等领域有着广阔的应 用潜力，受到世界各国的高度重视。 微小机械学发展 • 微机械涉及的基本技术主要有：微机械 设计；微机械材料；微细加工；集成技 术；微装配和封接；微测量；微能源；微 系统控制等。 • 微机械的制造和生产离不开微细加工技