模具新技术新工艺概论 教学课件 于丽君 第八章.pdfVIP

第8章 工模具的物理气相沉积 第八章 8.1   溅射涂层 8.2 离子镀技术 8.3  工模具真空涂层产业的发展 8.4 物理气相沉积技术在工模具 的应用 8.1溅射涂层 • 溅射涂层(镀膜)是指在真空中， 利用荷能粒子轰击镀料表面， 使其原子获得足够的能量而溅 出表面，沉积在基片上的技术 。由于各种物质(包括高熔点、 低蒸气压的金属和化合物)都可 发生溅射，且溅射涂层的性能 好，与基材的结合力强，因此 比真空蒸镀要优越得多，适于 用作工模具的涂层。 8.1.1  溅射涂层的原 理及分类 • 当荷能粒子轰击固体(靶材)表面时，将发生一系列物理和化学现象， 如图8—1所示。这些现象包括：靶材表面的原子、离子或分子的发射 (溅射)；二次电子发射；入射离子的反射；光子和X射线的发射；气 体的解吸；气体分解；溅射粒子背反射；加热；化学分解或反应；体 扩散；碰撞级联；晶格损伤和注入等。这些物理或化学过程对溅射成