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X射线光电子能谱（XPS） 数据处理及分峰步骤 华南理工大学分析测试中心 电话：020 812 一、在Origin中导入数据： 2、打开XPS Peak ，引入数据：点DataImport (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。 3、选择本底：点Background，因软件问题，High BE和Low BE的位置最好不改，否则 无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型。 4 、加峰： 点Add peak ，出现小框，在Peak Type处选择s、p、 d、f等峰类型（一般选s ），在Position处选择希望的峰 位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽 （FWHM）、峰面积等。各项中的constraints可用来固定 此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2 的峰位间距可固定 为3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉 此峰。然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。 5、拟合：选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点 Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰 的重