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压电驱动器研究与应用中的若干新进展 　杨 　凯 　张德林 　辜承林 中图分类号 : TM 3599　　　　　　文献标识码 : A 　　　　　　文章编号 : (2007) 压电驱动器研究与应用中的若干新进展 杨 　凯 , 张德林 , 辜承林 (华中科技大学 电气与电子工程学院 , 武汉 　430074) 摘 　要 : 作为新型功能材料驱动器家族中的重要成员 , 压电陶瓷在工业生产和 日常生活中得到 了广泛的应用 。由压电陶瓷构成的精度高 、控制方便 、能耗低的驱动器 , 在精密伺服控制系统 中具有独特的技术优势 。详细阐明了压电驱动器的独特优点 , 概述了其结构类型与应用分类 。 在此基础上 , 综述了该驱动器研究与应用中的若干热点以及未来的发展趋势 。 关键词 : 压电驱动器 ; 精密控制 ; 应用 ; 超声波电机 New Progre ss in Re search and A pplica tion of P iezoelectr ic A ctua tors YAN G Kai, ZHAN G D elin , GU Chenglin (Huazhong U n iversity of Science and Techno logy, W uhan 430074 , Ch ina) A BSTRAC T : A s a sound m em ber of the new function m aterial fam ily, p iezoelectric actuators have been w idely u sed in engineering and daily life. E sp ecially, p iezoelectric actuators, w ith the m erits of h igh p recision , simp le con tro l m ethod and low energy d issip ation , ho ld m uch p rom ise for the fu tu re of p recise and flexib le servo system. The p articu lar advan tage s of p iezoelectric actuators are discu ssed in detail a s well a s the configu ration sorts and app lication field. Fu rthermore, som e new p rogre ss in re search and app lication of p iezoelectric actuators are summ arized. KEY W O RD S: P iezoelectric actuators; Precise con tro l; App lication; U SM 振翅压 电微 驱 动 器 [ 3 ] 。该 驱 动 器 最 大 速 度 为 0　引　言 μ 09 mm / s, 最 大 步 长 为 36 m , 最 小 步 长 μ 压电驱动器以其尺寸小 、线性好 、控制方便 、 0142 m 。近