太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约 3页
2015-09-27 发布于重庆
举报
版权申诉

太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备.pdf

1、本文档共3页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备

2010 2 Feb.,2010 31 2 Journal of Xiangfan University Vol.31 No.2 ( 441053) . . 40 80μm. TF12 A 1009-2854(2010)02-0079-03 . . . Si . [1]. . . . . . . . 1 1.1 UBE 250g/L . . (20℃30℃40℃50℃60℃80℃) 1. 72h 1500 ℃4h. 1 -1 / -1 / -1 / /(T* ℃ ) /(T* ℃ ) /(T* ℃ ) 1 20 3 9 40 3 17 60 3 2 20 5 10 40 5 18 60 5 3 20 8 11 40 8 19 60 8 4 20 10 12 40 10 20 60 10 5 30 3 13 50 3 21 80 3 6 30 5 14 50 5 22 80 5 7 30 8 15 50 8 23 80 8 8 30 10 16 50 10 24 80 10 2010-01-26 (1965 ), , , . 31 2 2010 2 1.2 SEM [2] [3] . 2. 2 0 1 5% / 2 5%15% / 3 15%35%