微振动的高精度测量.pdfVIP

第33卷第1期 光电工程 Vr01．33．NO．1 2006年1月 Opto-ElectronicEngineering Jan，2006 文章编号：1003—501X(2006)01—0120—03 微振动的高精度测量 俞本立，孟军 (安徽大学信息材料与器件重点实验室，安徽合肥230039) 摘要：为了测量振幅小于1Ixrn的微振动信号，在传统迈克尔逊干涉仪的基础上，提出了一种大光 程差情况下的实时高精度测量系统。该系统使用单频窄线宽光纤激光器来减小长光程差下的相位 噪声影响；用零差解调方法来抑制环境影响导致的相位漂移；双路平衡检测的使用将光源强度噪 时，系统具有良好的线性响应度。 关键词：微振动测量；光纤激光器；零差解调；平衡检测 中图分类号：TGS01 文献标识码：A micro-vibrationdetector High-accuracy YUBen．1i，MENGJun Materialsand 似nhui Devices，AnhuiUnivity， KeyLaborataryoflnformation 230039，Cha) Hefei Abstract：Tomeasuremicro—vibrationwith lessthan1 Jam，a signalamplitude real-time，highaccuracy detectorbasedontraditionalMachelsoninterferometerwas narrow-linewidthfiberlaser proposed．A wasintroducedtoreducenoiseundertheconditionof shift pathdifference，and phase longoptical phase causedenvironmentcanbe with demodulation noisecanbe by suppressedhomodyne scheme．Intensity decreased16dB balanceddetection．Whendetectedis10m noisecaused by using space away,phase by laserisonlv5．28×10—6rad／Hzl，2．Becauseofthecircuitlimit，detectoris 10—5rad／Hzl／2． sensitivityonly When detected from100Hzto has linear 4KHz，the signalranges