一种减小微机械加速度计振动偏移的方案.pdf

一种减小微机械加速度计振动偏移的方案 李童杰 刘云峰 董景新 范 达 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京,100084 摘要:为降低敏感元件对称性较差的微机械加速度计的振动偏移,对加速度计振动偏移产生的原因和抑制方案进 行研究。首先,分析了系统学模型,并得出对于不对称的敏感元件采用对称的电容检测电路时,检测电路输出和敏 感元件动极板位移关系函数中存在明显偶次项系数,进而造成振动零偏;其次,讨论了力矩器的非线性,通过理论 分析得出,外加静电力等效对称方案无法抑制力矩器环节的振动偏移,提出了敏感元件等效对称补偿方案以及静 电力发生器等效对称化方案,通过理论分析得出该方案大大降低了敏感元件不对称带来的振动偏移;最后,对静电 力对称方案和等效对称补偿方案进行了对比试验。试验结果表明,对于对称性较差的敏感元件,等效对称补偿方案 在保证线性度的同时,大大减小了振动时输出均值的偏移。 微机械加速度计;敏感元件;对称补偿;振动;偏移 TH824 国家 “十一五”计划预研资助项目(编号:51308050208) 2010-03-17 2010-05-25 位置3 由式 结束语 16thIEEEInternationalConferenceonControlAppli cations.Singapore:IEEEPress,2007:1260-1265. @@[5] SunD,DongW,LiuC,etal.Characteristicanalysis ondynamicresponseofamicro-actuator[J].Journal ofMicrosystemTechnologies,2007,13(1):1-11. @@[6] HassaniFA,PayamAF,FathipourM.Designofa smartMEMSaccelerometerusingnonlinearcontrol principles[J].SmartStructuresandSystems,2010,6 (1):1-16. @@[1]吴天准,董景新,刘云峰,等.梳齿式微加速度计闭环系 @@[7]洪连进;陈洪娟.电容式硅微结构加速度计动态特性 统性能的分析与优化[J].仪器仪表学报,2006,27 的研究[J].振动、测试与诊断,2003,23(3):220-223. (3):285-289. @@[2]李童杰,刘云峰,董景新.力反馈式加速度计动态特性 分析及重要参数选择[J].惯性技术学报,2009,17 第一作者简介:李童杰 男,1981年6 (4):483-487. 月,男,博士研究生。主要研究方向为加 @@[3]胡溟;董景新,万蔡辛,等.二极管电容检测用于微加 速度计设计、智能仪器设计等。曾发表 速度计的误差分析[J].传感器技