Ag掺杂ZnO薄膜结构和光学特性研究.pdf

第38卷第4期 人 工 晶 体 学 报 V01．38No．4 OFSYNTHETICCRYSTALS 2009年8月 JOURNAL August，2009 Ag掺杂ZnO薄膜结构和光学特性研究 鲁萌萌，马学鸣，程文娟 (华东师范大学物理系，光谱学与波谱学教育部重点实验室．上海200062) 摘要：采用脉冲激光沉积技术制备出了Ag掺杂的ZnO薄膜。研究了Ag含量、衬底温度及氧压对ZnO结构和光学 性能的影响。结果表明：Ag以替位形式存在于ZnO晶格中，Ag掺杂浓度较低时，样品具有高度c轴择优取向。衬 底温度越高，薄膜的结晶质量越好，光学带隙越接近纯ZnO的带隙，而其紫外荧光峰在衬底温度为300℃时最强。 氧压为10Pa时，薄膜的结晶质量最好，紫外峰最强，其带隙则随氧压的增大呈先变窄后加宽的趋势。 关键词：Ag掺杂；ZnO薄膜；脉冲激光沉积；荧光特性 中图分类号：0484 文献标识码：A and of ZnOThinFilms Structure Optical AgDoped Properties LU Meng-meng，MAXue—ming，CHENGWen-juan of and Resonance of of (KeyLaboratoryOpticalMagnetic Spectroscopy，MinistryEducation，DepartmentPhysics， EastChinaNormal University，Shanghal200062，China) 13October 10November (Received 2008，accepted 2008) thinfilmswerefabricated laser effectsof ZnO Abstract：Ag—doped bypulsed despositiontechnique．The and onthestructureand ofZnO contents，substrate pressure opticalproperties Ag temperatureoxygen for ZnOhostand filmswerestudied．Theresultsshowthat ionsubstitutesZn2+of thin Ag highlypreferred of wereobtainedatlOWcontents．With substrate C-axisorientedZnOfilms Ag increasing temperature