Ti6Al4V表面TiNTi复合膜的制备及摩擦学性能研究.pdf

材料热处理技术≤MaterialHeatTreatTllent 2012年7月 摩擦学性能研究 张敏1，李淑新2’蒋立1，范爱兰，，唐宾1 (1．太原理工大学表面工程研究所，山西太原030024；2．太原工具厂，山西太原0300241 的成分及相结构；利用划痕仪分析膜基结合强度；通过球盘磨损机和轮廓仪测试磨痕形貌和磨损体积，评价膜层的摩擦 学性能。结果表明，TiN／Ti复合膜表面致密光滑，呈金黄色金属光泽；膜基结合强度大于100N；表面镀有TiN／Ti复合膜 的Ti6A14V合金虽没有减磨作用，但提高了耐磨性。 关键词：Ti6A14V；磁控溅射；复合膜；摩擦学性能 中图分类号：TGl7414 文献标识码：A 文章编号：1001．3814(2012)14．0148．03 ofTiN／TiFilm佣Ti6A14VSurface Prepa豫tion卸dTribolo西calProperties ZHANG Binl Minl，LIShuxin2，JIANGLil’FANAilanl，TANG IIlstitIlteofSurface Tools (1．Research Enginee血g，Tai”anUnivers时ofTecllIIology，Taiyuan030024，ch岫a；2．Tai”an FactoD，，Taiyuan030024，China) filmwas DC onTi6A14Vsurf．ace．The cross—section Abstract：TiN／Ti surfaceand depositedby magnetrDnsputIering aIld snllctureofTiN厂rifilmwere characterized aTld morphologies，compositionphase byFESEM，GDOESXRD，respectively． The beMeensubs仃atefiImwas adhesion and scratchtest．The、vearresistallceofTiN厂rifilmwas a11aIyzedby investigatedby weartestand ballondisc white interfbrence．TheresuhsindicatematTiN／Tinlmsexhibitsmoothsurfaceanddense light smJctIlrecolu蛳ar withcascade—like canshowwen and ofwear crystal feature，which glacier bondingstren百himprovement resistance． Keywords：Ti6A14V；DC behavior magIle仃onsputtering；TiN厂rifilm；wear 钛及钛合金由于具有高的