Zn1-xMgxO薄膜的溶胶—凝胶法制备与光学性质分析.pdf

福建农林大学学报(自然科学版) 第41卷第3期 Science University(NaturalEdition) 2012年5月 30umdof A西cultu北andForestry F．jian Znl一工M氍O薄膜的溶胶一凝胶法 制备与光学性质分析 张洪，刘银春，阮凯斌，吴义炳 (福建农林大学机电工程学院，福建福州350002) 摘要：以二水合乙酸锌和四水合乙酸镁为主要原料，石英玻璃为基片，采用溶胶—凝胶法结合旋涂工艺制备Zn。Mg,O薄 射峰半高宽增大，平均晶粒尺寸递减，(002)晶面的晶面间距略微减小．透射光谱分析表明，随掺杂浓度增高，薄膜在可见光 区域内的透光率增大，光学带隙依次增大． 关键词：掺地氧化锌；溶胶一凝胶法；半高宽；光学带踩 中图分类号：0484．5 文献标识码：A 文章编号：1671-5470(2012)03-0324-05 structuresand of film method Crystal opticalpropertiesZnl-xMg，Opreparedbysol-gel ZHANG Yin-ehun，RUANKai-bin，WUYi-bing Hong，LIU ofElectricalandMechanical and (College Engineering。FujianAgricultureForestryUniversity，Fuzhou，Fujian350002，China) and ZnO Abstract：With materials，magnesium·doped zn(cn，coo)2·2H20Mg(cH3coo)2·4H20酗raw films(ZnhM＆O， Orl structuresandtransmission ，iO，0．1，0．2，0．3)werequartzglass抽substrateabysol·gelmethod．Thecrystal spectra prepmd 0fthe weremeasuredXRDand thenthe sizeand bandwe弛 samples by speetmphotometer averagegrain opticalgap respectively。and retrieved data．ItwMfoundfromtheresultsthatthefilm 0 remainsed wmIzlte by且Ⅱmeasurement Zno．7M90．jprepared hexan91llav with wasnot ZnO structttreorientation s圩ucture phase along(002)plane，andMgophase found；Xray Zn the oflardceconstan