ZnO∶SnAgZnO∶Sn复合薄膜电极的防氧化性能研究.pdf

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2015-09-29 发布于湖北
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真空科学与技术学报第3l卷第3期 258 CHINESE 0FVACUUMscI玎VCEAND7IECHN010GY 2011年5、6月 JOURNAL ZnO：Sn／Ag／ZnO：Sn复合薄膜电极的防氧化性能研究李昱袁军林翁卫祥吴朝兴贾贞邦太良’ (福州大学物理与信息工程学院福州350002) GrowthandOxidationResistanceofZnO：Sn／Ag／ZnO：Sn FilmElectrodes Composite “Yu，Yuan Zhen，Guo Junlin，WengWeixiang，WuChaoxing，JiaTailiang。 and 350002，China) (CoUe铲矿PhysicsInformationEngineering，凡如u‰时，Fud20u AbstractThe with were ZnO：Sn oxidationresistance compositelayershi【gh grownb)，IX：reactivemagnetronsput· offdm to theconventionalmetallicelectrodesusedinfieldemissiondevicefabrication．The teringprotect widely impacts conditionsonthe ofthe electrodewerestudied．ThemicrostructuresoftheZnO： growth propertiesZnO：Sn／Ag／ZnO：Sn andafter characterizedwith electron Sn／Ag／ZnO：Snlayers，beforeannealing，were X·raydiffraction，scanningmicroscopy that urnthick and resultsshow under conditions，the ZnO：Sn growth compact，25 an删calmicroscope．The optimized witha of2．0×10—8Q‘mhasaratheroxidationresistanceat530。C．We that layer resistivity hiIgh suggestZnO：Sn／Ag／ ZnO：Sn be electrodematerialsinFEDfabrication． compositelayers900d film ZnO：Sn，Thinelectro