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一种可实现薄膜厚度在线测量的方法
323 Vol. 32 No. 3
2 0 0 7 5 OPTICAL TECHNIQUE May 2007
:2007)
一种可实现薄膜厚度在线测量的方法
1 2 1 1
宋敏 , 郑亚茹 , 卢永军, 曲艳玲
( 1. , 11 00; (2. , 11 029)
:
, , : 10~ 100m
, 10% ,
: ; ;
: O439 : A
An optical method of online measurement f or the thickness of thin films
1 2 1 1
SONG Min , ZHENG Yaru , LU Yongjun , QU Yanling
( 1. Inst itute of Optoelectronic Technology, Dalian Nationality University , Dalian 11 00, China)
(2. Department of Physics, Liaoning Normal University , Dalian 11 029, China)
Abstract: An optical method was introduced for measuring the thickness of solid thin films. This method is of high mea
suring speed, noncontact and online work. An experimental system w as constructed for online measurement of the thickness of
thin film. The experimental results show that the measuring error is lower than 10% in t he range of 10~ 100m, which fit the
production need.
Key words : optical method; thickness of thin film; online measurement
0 [3,5]
,
[4,7]
, , ,
,
, [ 5, ]
,
, 10 ~
100m,
1
, , 1
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