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一种新型差动式压电加速度传感器
第 15 卷 第 6 期 光学 精密工程 Voi. 15 No. 6
2007 年 6 月 Optics and Precision Engineering Jun. 2007
文章编号 1004-924X（2007 ）06-0903-07
一种新型差 动式压 电加速度传 感器
， ， ，
刘 俊 秦 岚 刘京诚 李 敏
（ ， 400044 ）
重庆大学 光 电工程学院 光 电技术及 系统教育部重点实验 室 重庆
： 。 ， ，
摘要 设计 了一种新型的差动式压 电加速度传感器 介绍 了传感器 的结构和工作原理 推导 了传感器 的数学模 型 并分
析 惯性质量块和 元件 的质 特 。然后 ， 处理 电 ， 电
了传感器 压 电 量对其输 出 性 的影响 分析 了传感器 路 的结构 推导 了该 路 的
。 ， ， 、 、
设计指标 实验结果表 明 该传感器采用单个惯性质量块实现 了对加速度信号 的差动式测量 其结构简单 重量轻 易于
、 ； 0 . 1% ， 1/ 2 ； 1% ； 1. 27% ；
加工制造 抗干扰能力强 线性度为 是普通加速度计 的 频率响应误差为 重复性为 测量灵敏度是
2 ， 。
普通加速度计 的 借 基本达到了设计 的 目的
： ； ；
关 键 词 压 电传感器 加速度传感器 差动
中图分类号 ：TP212 . 12 文献标识码 ：A
A novel differential piezoelectric accelerating sensor
LIU Jun ，OIN Lan ，LIU Jing-cheng ，LI Min
（Key Laboratory of Op toelectronic Technology Systems ，the
Ministry of Education ，Chongging 400044 ，China ）
Abstract ：A novei differentiai piezoeiectric acceieration sensor was introduced. The sensors structure and
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