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第30 卷 第3 期 核 技 术 Vol. 30, No.3 2007 年3 月 NUCLEAR TECHNIQUES March 2007 氧化铝模板制备条件的探索 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 1 1,2 默 广 蔡 泉 王 维 陈 兴 张坤浩 陈中军 吴忠华 1(中国科学院高能物理研究所多学科中心 北京 100049) 2( 中国科学院研究生院 北京 100049) 摘要 在低温下通过改变第一次和第二次氧化条件尝试性地生长了系列模板，结合扫描电镜(SEM)研究了模板 的孔间距和孔径与制备条件的关系。结果表明模板的形貌经两步氧化已达到最佳，孔间距受到第一步氧化的 调制，改变第二步氧化的条件可以制备出不同孔径的模板。并在此基础上分析了模板的形成机理。 关键词 氧化铝模板，阳极氧化，制备方法，扫描电镜 中图分类号 TB383 ，O646 氧化铝模板是一种自组装纳米结构材料，用高 进行观察。在观察前将氧化膜在真空镀膜仪上喷镀 纯度铝在相应的酸性电解液中通过阳极氧化制得。 金95 s，然后放入样品室进行观测。 氧化铝模板具有均匀而规则的六角排列的纳米孔道 陈列结构，而且孔径大小，模厚都可以控制调节。 2 结果和讨论 同时它具有热学和化学稳定性好等优点，引起越来 图1(a)是在0.3 mol/L 草酸溶液中一次氧化4 h 越多的关注 [1-3] 。氧化铝模板符合纳米一维体系的 制得的模板，氧化电压为40 V ，温度恒定为10 ℃。 组装和生长的需要，在合成大面积高度有序的金属 由于第一次氧化受铝片表面缺陷影响较大，孔成核 [4] [5,6] [7] 量子点 、金属纳米线 、半导体纳米线 、纳米 的位置随机，从而造成了孔的形状和孔有序程度较 碳管[8]等阵列结构方面有很大的应用前景。氧化铝 差。图1(b)是采用两步氧化法(条件与第一次相同， 模板的形成机理以及如何制备形态规则的模板主导 时间为4 h)制备的氧化铝模板，此时纳米孔直径比 着该领域的研究方向[9] 。用一步氧化法及氧化条件 较均匀，排列比较规则，这和其他文献的报道是相 相同的两步氧化法制备氧化铝模板都有报道，本文 符合的[10] 。我们在此基础上除去氧化层后继续第三 探索了第一步和第二步氧化条件不同的两步氧化 步氧化(条件和前两步相同，时间为4 h)制备模板， 法，制备一系列氧化铝模板，比较了孔间距、孔径 如图 1(c)。这时有序度并没有进一步改善。原因是 大小的变化规律，并对模板的生长机制进行了探讨。 除去第一步氧化层时已经将铝片表面缺陷的影响消 1 实验 除，在随后的氧化过程中并不受铝片表面缺陷的影