AFM加工的Ti纳米氧化钛线的直线度分析.pdf

! # ·$ ! 第 卷 第 期 年 月 16 1Z Z005 1Z Vol.16 No.1Z Dec.Z005 JOurnal O O tOelectrOnics Laser f p AFM加工 的 Ti纳米氧化钛 线的直线度分析 1 Z 1 1 Z ! ! ! ! 匡登 峰 刘庆 纲 方 志 良 杨 勇 胡 小唐 南 开 大学 现代 光 学研 究 所 天津 天津 大 学 精 密 测 试 计 量 技 术 及 仪 器 国家 重 点 实 验 室 天 1. 300071 Z. 津 30007Z 摘 要 为 了与微 电子 加 工 工 艺 相 结 合 基 于 Ti氧化 线 的纳 米 电子 和 光 电器 件 需 要 加 工 #m 级 长 的 Ti 氧 化 线 Ti氧化 线 的直 线 度 决 定 了加 工 的纳米 器 件 的形 状 从 而 影 响纳 米 器 件 的工 作 特 性 在 偏 置 电压 扫 描 速 度 的条 件 下 在 的范 围 内从 左 到右 每 隔 加 工 了 条 长 的 8 V 0.1 m s 7 mX7 m 1 m 6 5 m # # # # # Ti纳米 氧化 线 研 究 了针 尖磨 损 和压 电陶瓷 扫描 器 等 因素 对 加 工 的 Ti 氧 化 线 的直 线 度 的影 响 原 子 力 显 微 镜 AFM 扫描 范 围 的 中间位 置 加 工 的 Ti氧 化 线 的高度 和宽度 的一 致 性 与直 线 度 最 好 关 键 词 尖诱 直 线 原 子 力 显