一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法.pdfVIP

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2015-09-30 发布于湖北
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一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法.pdf

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（）第卷第期扬州大学学报自然科学版１３３Ｖｏｌ．１３Ｎｏ．３年月（）ＪｏｕｒｎａｌｏｆＹａｎｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ２０１０８ｇｙＡｕ．２０１０ｇ一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法１ １２，，刘剑霜李伙全陈一　（，；，）１．扬州大学物理科学与技术学院江苏扬州２２５００２２．复旦大学材料科学系上海２００４３３：（，摘要提出一种利用高分辨率透射电子显微镜ｈｉｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏ简称　ｇｐｙ），、ＨＲＴＥＭ对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法分别讨论了测定过程中制样的影响测量、设备放大倍率的校验样品晶向校对以及不同情况下内标法和标称法的选用该方法对半导体工业中．ＨＲＴＥＭ的应用有一定的指导意义．：；；；关键词半导体芯片微纳几何结构高分辨率透射电子显微镜内标法中图分类号：文献标志码：文章编号：（）ＴＮ３０７Ａ１００７８２４Ｘ２０１００３００５００４　　　　　　　半导体芯片内部微结构的尺寸测定和形貌分析是半导体制造中质量控制和失效分析的重要内［］［］１２、容半导体制造工艺在材料制备设备操作和工艺控制等方面均要求很高的精确度随着制造工．．，，艺的不断进步当前半导体工业已经进入６５ｎｍ以下级技术时代工艺特征尺寸和