沉积温度对IMO透明导电薄膜光电性能的影响.pdfVIP

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真空科学与技术学报第30卷第6期 676 CHINKSE OFVACUUMSCIENCEANDTECHNOIDGY JOURNAL 2010年11、12月沉积温度对IMO透明导电薄膜光电性能的影响袁果黎建明’ 张树玉刘伟闰兰琴 (北京国晶红外光学科技有限公司北京有色金属研究总院北京100088) Influellceof Oil of DepositionTemperatureProperties IndiumFilms Oxide Mo-Doped Yuan Guo，LiJianming’，撕Shuyu，LiuWei，Yanl_anqin Opti冽TedmologyCo．，删，Genera／飓删加脏腑forNonferrous (啪盘斫略Infrared Ma,a／s，蛾100088，Ch／na) AbstractTheindiumoxidefilmswere and with byRFreactive depositedd00edmolybdenum magnetronsputtering of of and K9 ofthefilm compositetargethighpurity111203Mo，ond躐substrates．Theimpacts growth of films the andflowratesof and electricaland the deposition argon temperature，pressure oxygen，on opticalproperties werestudied．Itsmicmstructureswerecharacterizedwith diffraction electron andconventional X．ray scanning microscopy show the affects ofthe resultsthat films．Forinstance．as probes．The depositiontemperaturesignificantlyproperties optical the rises carrierconcentra— orientation，havehigher depositiontemperatureup，thefdras，with(222)preferredincreasingly carrier but lower lowest was6．9X10—4Q。cm．Its