用UV-LIGA技术制造大通孔率精细镍网.pdfVIP

第17卷第6期 光学精密工程 V01．17No．6 andPrecision 2009年6月 Optics Engineering Jun．2009 文章编号 1004—924X(2009)06—1267—07 用UV-LIGA技术制造大通孑L率精细镍网 明平美1’2，朱 荻1，周 锋1，胡洋洋1，曾永彬1 (1．南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室，江苏南京210016； 2．河南理工大学机械与动力工程学院，河南焦作454000) 摘要：高开孔率、大厚度金属精细网板的制造是网板业界的技术难题。分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点， 并提出采用基于SU一8光刻胶的Uv．LIGA技术来制备高开孔率大厚度精细金属网板的工艺思路。优选了关键工艺环 节的操作参数，表征了试样的形貌特点，检测并分析了试样的相关性能。结果显示，采用优化的工艺条件(前烘65℃／20 rain，95℃／20min；适量曝光剂量；后烘65℃／10