PT种子层对微力传感器性能的影响.pdfVIP

第21卷第3期 传感技术学报 v01．21No．3 fiND 2008年3月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS 蚴．2008 InfluenceofthePT tothe oftheMicroforceSensor。 SeedingLayer Properties MENGHan—bai ran¨，WANG 2，CUI Hui—lin2，WANGLi—din92 Jin93，CHEN PrecisionandNon-traditional ，1．Key for Laboratory MachiningTechnologyofMin