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- 2015-10-03 发布于湖北
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TiN纳米薄膜的高硬度及其产生机制.pdf
第22卷第2期 材 料 研 究 学 报 VbL22NO．2
200 CHINESEJoURNALOFMATERIALSRESEARCH 2008
8年4月 April
TiN纳米薄膜的高硬度及其产生机制
徐建华t 王昕· 马胜利· 刘阳2 徐可为1
1．西安交通大学金属材料强度国家重点实验室西安710049
2．北京实力源科技开发公司北京100072
摘要 用脉冲直流多弧离子镀方法在W18Cr4V高速钢基体上沉积具有纳米结构的TiN薄膜，用XP纳米压人仪测量薄膜
nm的TiN薄膜，硬度为3昏43GPa，
的硬度，研究了其硬度产生的机制．结果表明，厚度为2—3／zm、晶粒尺寸约为13—16
远高于TiN的本征硬度(22-24GPa)．高温去应力退火实验证实，具有纳米结构的TiN薄膜
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