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第38卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．38，Suppl．2 2009年12月 RAREMETALMATERIALSAND Decernher2009 ENGINEERING Y掺杂BST薄膜介电性能研究 潘笑风，廖家轩，王洪全，张佳，傅向军，魏雄邦 (电子科技大学，四川成都610054) 摘要：用改进溶胶．凝胶法在Pt／Ti／Si02／Si上制各了钇(Y)掺杂Bao6Sro 4Ti03(BST)薄膜，研究了Y掺杂对BST薄膜表 面结构和介电性能的影响。XPS结果表明，Y掺杂有利于薄膜钙钛矿结构的形成，但对氧空位没有明显的抑制作用。 SEM和AFM结果表明，Y掺杂能缓解薄膜应力、减少薄膜裂纹、细化晶粒，进而改善薄膜的表面结构。在进行Y掺 杂后，薄膜的介电性能得到明显提高，40y外加电压下的介电调谐率大于40％及零偏