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一种新型薄膜压磁电感式压力传感器的研究.pdf
V01．23
第23卷第9期 传感技术学报 No．9
2010年9月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Sept．2010
4
Film Basedthe
onaNew PressureSensor on Effect
Study Electromagnetic Magnetoelasticity
1
SHI Lixue
1，ZHOU
Yanpin91’“，NI Qingui
Institute
，1．DepartmentofMechanicalEngineering，HuaihaiofTechnology。Lianyungang，肋，栌n222005，China
Marine 222001，China ，
、2．Jmngsu Resources眈∽卸删ResearchInstitute，Lianyungang，Jiangsu
ordertoenhancethe ofthe on induction
Abstract：In sensor，a electromagnetic
temperaturestabilitypressure study
film sensoronthe effectofFe·based was
pressure magnetic amorphousahoy made．Firstly，itsoperationprinciple，
ofsome were thelow—
characteristicandthechoice majorparameter
structure，output
as
staticcharacteristicaswellthe oftheinfluencewere
pressureexperiment，the temperatureoutput analyzed．The
resultshowssensor inthis thestaticerrorofmaximum1．17％andthemaximumsensi—
experimental designedpaper
it suchas
of0．7374 zerodriftof havesomecharacteristic
tivity mv／kPa，the 0．936％FS／。C，and
temperature
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