W-Pt微纳热电偶批量制备装置的设计与实现.pdfVIP

第45卷第4期 东南大学学报(自然科学版) V01．45No．4 Science 2015 JOURNALOFSO--ST Edition) July 2015年7月 UNIVERSITY(Natural doi：10．3969／j．issn．1001-0505．2015．04．011 W．Pt微纳热电偶批量制备装置的设计与实现 汪建清 柏婷婷 田文娟 顾 宁 (东南大学生物电子学国家重点实验室，南京210096) (江苏省生物材料和器件重点实验室，南京210009) 摘要：为了提高能应用于单细胞温度测量实验的w—Pt微纳热电偶的制作效率和稳定性，采用自 动化控制技术完成w—Pt微纳热电偶批量制备系统的设计和实现．采用模块化设计方式，分别完 成系统整体结构、电气控制系统部分的设计与实现，采用扫描电子显微镜、光学显微镜和水浴定 标系统研究该系统制作的w—Pt微纳热电偶参数，包括w针尖端曲率半径、尖端锥角、裸露基极 长度和Seeback系数．研究表明：该系统可实现快速制作性能稳定的W—Pt微纳热电偶，制作的大 部分热电偶尖端曲率半径小于500nlil，锥角小于18。，裸露基极长度小于1000an，Seeback系数 为4—8 I上V／K，可很好地应用于单细胞温度测量实验． 关键词：单细胞测温；w—Pt热电偶；批量制备；装置开发 中图分类号：TP399文献标志码：A 文章编号：1001—0505(2015)04-0673-05 andrealizationofbatch Design preparationsystem forW·Ptmicro-nano thermocouple Bai Tian Gu WangJianqingTingtingWenjuanNing of (StateKeyLaboratoryBioelectronics，SoutheastUniversity，Nanjing210096，China) forBiomaterialsand Devices，Southeast 210009，China) (JiangsuKeyLaboratory University，Nanjing W—Pt the and of micro—nano Abstract：To ap- improveproductionefficiencystability thermocouple to cellular batch forW·Ptmicro—nano measurement，a priedsingle temperature preparationsystem was andrealizedwithautomaticcontrol overallstructureof