SNOM综述.ppt

近场光学显微镜 李德春 2002.5.19 内容 综述 探针制备 举例 综述 历史与现状 分类及基本原理 引言 人们发现STM、AFM条件过于苛刻，不如光学手段方便快速 由于分子生物学问题、纳米尺度分辩的微电子学问题、纳米级分辩光存储等近代课题的出现，迫切需要解决纳米级分辩的光学显微成像技术。 历史与现状 400年前，荷兰科学家冯.劳文虎克（Van Loeuvenhook）发明了光学显微镜，使人们第一次观察到微米和亚微米大小的物体，并由此发现了生物体的基本构成单位细胞和传染病的元凶细菌。从此光学显微镜成为人们认识自然界的有力工具； 1873年德国的E.Abbe就预言了显微镜的光学衍射极限的存在。后来Reyleigh用简明公式表述如下，即显微镜能分辨开的两个物点的距离： λ、n、θ分别为波长、折射率和半角孔径 历史与现状（续） 1928年E.H.Synge(辛格)和1956年奥基夫就先后预言式提出近场探测的原理： 历史与现状（续） 1972年阿什等用3cm波长微波进行近场光学显微成像原理性模拟演示试验，获得了一维分辩达到λ /60和二维成像分辩达到λ /20的结果 1982年STM的出现，近场光学显微镜得以发展 1984年瑞士苏黎世IBM的D.W.Pohl和A.Lewis等人分别独立研制成功了SNOM 1989年出现了PSTM的成像技术，得到200nm的分辨率 90年代后探针制备和T-S间距控制方法的改进，大大促进了近场光学显微镜的发展 1992 年美国Betzig等首先达到了高于50nm的分辨率 历史与现状（续） 国内外的研究组： 法国Besancon大学courjon小组、美国ATT Bell实验室Betzing小组、德国Konstanz大学Bielefeldt和Krausch小组、丹麦Alborg大学Bozhevolnyi小组、美国Cornell大学Cline小组、荷兰Twente大学van-Hulst小组； 在国内，北京、清华、中科大、南开、南京大学等都有对SNOM进行研究。 综述 分类及基本原理 超衍射极限成像的基本条件 1 隐失波：受光照明物体的表面的近场包括两种成分: 一种是传导波(propagating wave),可从近场区域向远处传播而同时存在于远场区域； 另一种是隐失波(evanescent wave)，其强度随距物体表面距离的增加而呈指数衰减且仅存在于近场区域: (n12=n1/n2,z是距界面高度，是入射角，n1光密n2光疏) 2 探测尖：最尖端尺度小于衍射极限尺度 分类 近场光学显微镜有两个主要分支： 小孔扫描近场光学显微镜(A-SNOM) (Aperture Scanning Near-field Optical Microscope) 而根据光与样品之间的关系又可分为反射型（R）和透射型（T）两种 光子扫描隧道显微镜（PSTM）(Photon Scanning Tunneling Microscrope) Tip－Sample间距控制方式 等高模式（Constant altitude mode） 等强模式（Constant intensity mode） 剪切力控制模式（Shear-force control mode） 间距控制的非光学方法 光学方法的局限性 非光学方法： 直接探测－高频压电元件 超声共振法 电容传感器测距法 原理 简单地说近场光学探测是由一系列转换完成的： 照射物体，产生隐失场； 通过探针将隐失场转换成传导场； 传导场被记录。 总体结构 A－探针 B－样品台 C－探针扫描控制 D－光输入系统 E－信号采集处理系统 SNOM的不足之处 PSTM成像过程中存在许多缺点： 首先，为了得到强的隐失波场，其照明面积及辐射强度都比较大； 其次，光学图象的对比度不仅与样品的表面轮廓有关，而且受到光束入射角、波长、偏振态、介质折射率、厚度和吸收以及光纤探针形态等诸多因素的影响，图象的解释始终是个难题； 第三，探针与隐失波的相互作用无横向限制，在隐失波场的整个衰减区中的光都可能进入光探针，散射光和隐失波场都对检测信号作出贡献，使得信噪比下降； 第四,对样品厚度等要求高。 SNOM的不足之处（续） 由于各类反射式SNOM（RSNOM)都不同程度的存在着： 噪声背景干扰； 照明接收光路干扰； 收集光路数值孔径小。 所以目前国际上RSNOM的成像分辨率普遍不及透射式SNOM ，但是透射式SNOM对样品厚度和透明度的要求，同样是它的一个致命缺陷 小结 近场光学超衍射极限成像成功的关键： 样品表面产生隐失场 探测尖小于衍射极限 采用抖动调制技术，以消除散射传输波的背景干扰 探针的制备 原料：普通的单模石英光纤，纤芯为掺有GeO2