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单晶炉操作注意事项 一、装料准备/方法/原则 1．安全及准备： 1.1 小心防止锐利的多晶划伤手制或其它部位。 1.2 禁止在炉内温度很高的情况下开始装料。 1.3 认真检查上炉单晶拉制及设备运行状况以及水、电、气是否符合开炉条件。 装料前应检查：项目 开炉标准 、 水压：不低于0.15MPa，不高于0.3 MPa 氩气压力:0.1~0.2MPa 热检：0.6Pa/5min 炉子极限真空度:6Pa/40min 机械运行 正常 各种电器仪表显示及运行情况 正常 1.4 严格禁止不检查热场系统，不擦炉装料。 应检查： 加热器已使用炉数 加热器化料电压(是否偏高) 加热器是否打火，电流电压无摆动 石墨坩埚已使用炉数、石墨坩埚无裂缝、磨损，与石英坩埚缝隙是否过大 石墨坩埚外壁无较厚挂有硅晶层 石墨电极板无打火迹象 石墨电极板与加热器、不锈钢电极连接无松动 石墨电极板无裂纹、损伤 石墨托杆旋转时无松动、摇摆 、损伤 1.5 禁止不检查石英坩埚就放入炉内.对于石英坩埚应做如下目检: 石英坩埚无触痕(暗伤)/裂纹/划伤/变形/厚薄不均 石英坩埚没有附着物/喷溅物/指纹/斑点 石英坩埚内表面无粘污膜/变色 石英坩埚内表面无失透点/大气泡3mm/气泡群3个/cm2 石英坩埚上口是否无明显的切磨加工缺陷 与指令单上的型号一致 1.6核对运行号/目标电阻率/装料量/掺杂量等保持一致 1.7 检查籽晶型号/完整性 一致/完整 2.操作人员装炉时，班长应在现场监督和指导。并遵循一下三原则： 2.1 装料时必须轻拿轻放，体现一个“轻”。 2.2 带上无尘手套后除拿料外不能接触其它物品,体现一个“洁”。 2.3 料放置要稳妥、均匀.禁止反复多次摆放，体现一个“稳”。 3.装料前.埚位应上升到较高的位置, 3.1 禁止低埚位装料 3.2 禁止旋转坩埚 3.3 禁止不带口罩喧哗/触摸石英坩埚内壁 3.4 禁止向石英坩埚内倾倒多晶硅/赤手抓取多晶 4. 根据料块的形状和大小，可按一下原则放料： 4.1装料前，把要装的料全部观察一遍，掏出大块料，若有回熔料，与回熔料放在一起进行破碎后方能装料。 4.2大块料的放置 4.2.1 大块料的上边沿一定要低于熔体水平线 4.2.2超过1.5kg的块装料包括回熔料必须进行破碎方能装料 4.2.3 大块料沿石英内壁摆放,然后放入掺杂剂, 再把小块料放里面 4.2.4 料块尖锐的部分不能朝向石英坩埚壁，更不能有接触点，只能用平坦的面接触石英坩埚壁。 ╳ ╳ (a) C (a)(b) 料块尖锐的部分朝向石英坩埚壁/ 禁止 (c) 正常/可以 4.2.4 装完料后,清除石墨热场内散落的硅渣. 5．籽晶检查及安装方法 5.1检果籽晶是否过短，籽晶表面是否有损伤，上炉拉制时籽晶有无吃渣现象，首先用钳子轻轻铰去受损部分，观其长度是否可用，否则更换。班长做好更换详细记录并签字。 5.2安装籽晶方法：戴无尘手套去掉籽晶重锤（去掉重锤后严禁籽晶软轴升降操作，否则会出现软轴脱槽导致设备损坏、拉晶报废重大责任事故），取下籽晶固定销，插入籽晶后轻轻将销钉装入重锤同时籽晶轻轻上下移动，待销钉位置完全进入后轻拉籽晶确定籽晶在最低位置。用纸和酒精将籽晶和重锤擦式干净后将重锤安装在软轴上。 5.3 籽晶安装完毕后，将上轴以最快的提拉速度升降两次。检查籽晶在升降过程中是否有停滞、晃动、限位失控等异常现象。若出现异常应立即通知维修和班长并停止下一步操作。 5.4 取棒时向下拉紧重锤，用钳