典型柔性铰链精度性能的研究.pdfVIP

清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期 !# $%%%%%’( - .*%%$ ($ $$ $(,+’ )# $$***+,# - .=*%%$= A($= A$$ (B’* /012345678329 :2; 0:5 ?@ #? 典型柔性铰链精度性能的研究 王纪武 陈 恳 李 嘉 刘 峰 = = = 清华大学 精密仪器与机械学系 北京 - = $%%%C(. 摘 要 柔性铰链是一种被广泛用于微动机器人的主要构 柔性铰链的基本性能主要包括刚度 精度及应 D