微流动的研究现状及影响因素.pdfVIP

第23 卷第6 期 江 苏 大 学 学 报( 自然 科 学 版) Vol. 23 No. 6 2002 年 11 月 Journal of Jiangsu University( Natur al Science) Nov. 2002 微流动的研究现状及影响因素 , , , , ( 江苏大学微米/ 纳米科学技术 心, 江苏镇江 2 12013) [ , , 1 , , 、, 1 , 、、、1 [ ; ; [ O353. 5 [ A [ 167 1- 7775( 2002) 06- 000 1- 05 自1959 年著名物理学家Richard F eynmam 提 [ 2 景 1 出微型机械的设想, 1962 年第一个硅微型压力传感 在许多MEM S 器件 含有与流动有关的部件, 器问世之后, 又开发出了如微型齿轮、气动涡轮等机 有些甚至就是根据流动的某种原理制成的, 如集成 构1 到了20 世纪80 年代, 随着制造微机械零件工 电路的微冷却、微化学分析系统、由微细流道组成的 艺技术的逐渐成熟, 微机电系统具备了发展的技术 生物芯片、微量药物注射和释放以及小型卫星的微 基础11987 年美国研制出转子直径为60~ 120 Lm 推进器等1 由于微流动系统具有广泛的应用前景而 的硅静电电机, 标志着微机械领域的开端1 引起人们对它的重视, 并促使人们对特征尺寸由宏 微电子机械系统( MEM S) 于20 世纪80 年代末 观量级减小到微观量级时, 流动是否会发生变化或 提出, 它由特征尺寸在亚微米至毫米范围内的电子 发生什么变化、描述宏观流动的方程是否还适用等 和机械元件组成, 并将传感、处理与执行融为一体, 问题进行探索1MEMS 技术的发展及其良好的应用 [ 1 可提供一种或多种特定功能 1MEMS 采用了与集 前景, 将进一步促使人们进行微尺度流动现象的研 成电路兼容的大批量处理制造工艺, 具有体积小、重 究[ 3- 8 1 量轻、响应快、精度高等特点, 在机械、国防、医学和 生物工程、航空航天、化学分析等领域具有巨大的应 1 用前景1 微流动系统的流量在nl/ min~ Ll/ min 量级, 包 在宏观流动 , 由于其特征尺寸远大于流体 [ 2 括微量流体的传感、输送、检测和控制 , 一般由微 分子的平均自由程, 所以将流体假设为连续介质1 型泵、微型阀和微型传感器构成, 可控制微量流体的 随着特征尺寸的减小, 流体分子的平均自由程与流 压力、流量和流动方向1 它具有集成化和大批量生 动特征尺寸的比值相对增大, 流体的流动规律可能 产的特点, 而且由于尺寸微小, 可减少系统的无效体 与宏观流动不同1 目前一般将大于1 mm 的尺度称 积、降低能耗、提高响应速度1 [ 9 为宏观尺度, 1 Lm~ 1 mm 的尺度称为微尺度 1 微流动系统与其它微型元件集成构成各种微 微流体研究的特征尺度目前一般在微尺度( 微米) 系统, 在工业过程 的精确气体和液体流量控制、 量级1 微量化学分析、微量医学注射和分析及高精度喷墨 111 打印、微型发动机推进等方面具有良好的应用前