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第六章 薄膜化合物 第六章 薄膜化合物 形成中的动力学过程 形成中的动力学过程 层状薄膜 薄膜互扩散 界面反应 1. 晶体结构不变—— 同样结构的连续固溶体 2. 新的化合物产生(相形成) 3. 几种新的化合物 相变 初相、相序、终相（可能为单种金属化合物） 2 2 主要内容 主要内容 固溶体中的互扩散 固溶体中的互扩散 形成金属化合物的互扩散 形成金属化合物的互扩散 界面反应 界面反应 薄膜中的相结构 薄膜中的相结构 3 3 6.1 固溶体中的互扩散（只涉及不同元素，不涉及结构） 6.1 固溶体中的互扩散（只涉及不同元素，不涉及结构） 首先, 什么是互扩散? 互扩散与前面讨论的”扩散”不同。前面讨论扩散时,只考虑了一种 物质的扩散.例如少量同位素的有限面扩散源,或者保持表面浓度 恒定的恒源扩散。这些情况下,都假设扩散系数为常数,与浓度无 关。 互扩散是两种物质相互扩散,不能用前面”扩散”的做法来处理,存 在互扩散系数,是浓度的函数。 复合膜情况涉及薄膜间的互扩散问题。 互扩散的简单情况: 两种薄膜的晶体结构相同,经加热处理后,互 扩散形成了结构不变的固溶体。 4 4 以体扩散偶为例: A B 加热 互扩散 体扩散偶 厚度，很小 厚度，很小 对有限面扩散源 bC 0 x 2 CA A exp( ) 4Dt 4Dt 扩散之前的 扩散之前的 浓度 浓度 对体扩散偶的情况， 如何处理? 直接的做法是: 可将固体分为多层： 再用有限面扩散源处理: Xi，每个厚度Xi 每个薄片的扩散, 是有限面扩散源的形式 对所有薄片的贡献求和(积分) 计算结果 5 5 C C 0 1 A C 0 A A 2 x 0 组分分布的中点总是在x=0处—