Centrotherm扩散炉.ppt

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centrotherm主要控制系统的组成和作用如下: 1. CMI 计算机 每个机台一个,用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑 2. CMS (central machine safety) 错误监视单元,用于监视炉内,炉外,炉 体及电路的温度和冷却系统的工作状况,并将结 果显示在CMI电脑用户界面上,系统对偏差的响应 可设置。 3. CESAR 控制电脑(每个炉体一个) 作用: 1) 创建或更改recipe 2) 定义recipe变量(工艺时间,温度, 压力,气流) 3) start,stop and cancel recipe 4) 数字控制温度 5) 控制气流 6) 装载机组参数设置 7) 与装卸系统进行通讯 8) 监视报警/中断状况(气流,温度,压力) 9) 通过级联控制器控制温度 10)通过级联温度控制进行自动拉温 11)存储一定数量的recipe 12)记录用户定义的工艺数据 13)对正在运行的工艺进行测试(执行工艺步骤,更改变量,设置/重置停止点等) 4. Cell controller 其中包含用于创建和管理recipe的软件 CCC-RM(Centrotherm Cell Control Recipe Manager),用于 对CESAR电脑进行集中遥控。 5. Temperature controller 采用REG97温度控制器,硬件部分由 controller,transducer,pulse skipping unit组成。 6. PLC(Programmable Logic Controls) 设备中装有三个PLC 一个用于控制整个机台的气体流量 一个用于控制整个机台的装卸机组 一个用于控制升降系统即lift CMI控制界面 CESAR软件界面 * Centrotherm扩散炉设备结构简介 CONTENT 1、设备基本构成 2、炉体部分 3、Load station 4、Gas cabinate 5、控制及监控系统 基本构成—centrotherm Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统,TGA,炉体部分和气源柜四部 分组成。其各部分功能如下: 1.装载系统:用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内,以及将扩散完成的硅片传送到上料台。 2.TGA(Toxic Gas Exhaust):用于驱动炉门,吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。 3.炉体部分:机台的核心 部分,由五个炉体及相关的电 源系统和控制系统组成。 4.气源柜:用于提供扩散 工艺过程所需的各种工艺气体, 以及将扩散过程中产生的尾气 通过酸排风系统排出。 炉体部分—centrotherm 炉体部位包含炉体,控制柜和电源柜三个部分。 炉体部位包含五根炉管,控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器,电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。 控制柜 动力柜 炉体 控制柜 动力柜 CCC电脑放置处 动力柜 动力柜中的变压器 机体温度监控 CCC控制电脑与CMS CCC控制电脑( Cell Control Computer )中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM(Centrotherm Cell Control Recipe Manager),用于对CESAR电脑进行集中控制。 CMS (central machine safety),错误监视单元,用于监视炉内,炉外,炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况,并将结果显示在CMI电脑用户界面上。 CMS CCC电脑 CESAR控制电脑 温度控制器 CESAR 控制电脑(每个炉管有一个): 其作用为:创建或更改recipe, 定义recipe变量(工艺时间,温度,压力,气流),start,stop and cancel recipe,数字控制温度,控制气流,装载机组参数设置,与装卸系统进行通讯,监视报警/中断状况(气流,温度,压力),通过级联控制器控制

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