Centrotherm扩散炉.ppt

centrotherm主要控制系统的组成和作用如下： 1. CMI 计算机 每个机台一个，用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑 2. CMS （central machine safety） 错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉 体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结 果显示在CMI电脑用户界面上，系统对偏差的响应 可设置。 3. CESAR 控制电脑（每个炉体一个） 作用： 1） 创建或更改recipe 2） 定义recipe变量（工艺时间，温度， 压力，气流） 3） start，stop and cancel recipe 4） 数字控制温度 5） 控制气流 6） 装载机组参数设置 7） 与装卸系统进行通讯 8） 监视报警/中断状况（气流，温度，压力） 9） 通过级联控制器控制温度 10）通过级联温度控制进行自动拉温 11）存储一定数量的recipe 12）记录用户定义的工艺数据 13）对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等） 4. Cell controller 其中包含用于创建和管理recipe的软件 CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于 对CESAR电脑进行集中遥控。 5. Temperature controller 采用REG97温度控制器，硬件部分由 controller，transducer，pulse skipping unit组成。 6. PLC（Programmable Logic Controls） 设备中装有三个PLC 一个用于控制整个机台的气体流量 一个用于控制整个机台的装卸机组 一个用于控制升降系统即lift CMI控制界面 CESAR软件界面 * Centrotherm扩散炉设备结构简介 CONTENT 1、设备基本构成 2、炉体部分 3、Load station 4、Gas cabinate 5、控制及监控系统 基本构成—centrotherm Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统，TGA，炉体部分和气源柜四部 分组成。其各部分功能如下： 1.装载系统：用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将扩散完成的硅片传送到上料台。 2.TGA（Toxic Gas Exhaust）：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。 3.炉体部分：机台的核心 部分，由五个炉体及相关的电 源系统和控制系统组成。 4.气源柜：用于提供扩散 工艺过程所需的各种工艺气体， 以及将扩散过程中产生的尾气 通过酸排风系统排出。 炉体部分—centrotherm 炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。 炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。 控制柜 动力柜 炉体 控制柜 动力柜 CCC电脑放置处 动力柜 动力柜中的变压器 机体温度监控 CCC控制电脑与CMS CCC控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。 CMS （central machine safety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。 CMS CCC电脑 CESAR控制电脑 温度控制器 CESAR 控制电脑(每个炉管有一个): 其作用为：创建或更改recipe， 定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start，stop and cancel recipe，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯，监视报警/中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制