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薄膜材料与技术 （1） 李美成 2006秋季学期 1 1 教材参考书 《电子薄膜材料》，曲喜新等编著，科学出版社，1997年11月 《薄膜科学与技术手册》，田民波、刘德令编著，机械工业出版 社，1991年 《薄膜技术》，王力衡、黄运添、郑海涛著，清华大学出版社， 1991年 《薄膜材料与薄膜技术》，郑伟涛等编著，化学工业出版社， 2004年 《薄膜物理学》，L.埃克托瓦，科学出版社，1986年 Electronic Thin Film Science，Macmillan Publishing Company，1992 An Introduction to Physics and Technology of Thin Films ， World Scientific Publishing Comp