电子信息材料声参数分布SLAM检测法的研究.pdf

电子科技大学研究生论文 摘 要 LaserAcoustic 激光扫描声学显微镜(Scanning 作为一种新型高分辨率的无损检测仪器，以其实时成像的优点，日益在材料科 学和生物医学科学等领域发挥着十分重要的作用，该技术及其应用研究一直受 到科技界和工业界的广泛关注。 在电子信息科学领域，伴随电子器件制造工艺技术集成化、微细化和生产 的数字化、大规模化，电子材料和元器件常常被设计成片式结构。本论文以片 式电子材料元器件作为无损检测分析对象，以提高SLAM系统灵敏度为目标， 提出了被测样品光学抛光扫描法；根据微波声学中声波在分层介质中的传播理 论，详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播特点，建立了抛光型样品 自由界面动态波纹数学模型；在此基础上分析了以纵波全内反射角入射时动态 波纹振幅与入射声波频率变化的关系，得相应数学模型；同时结合自由界面动 态波纹数学模型详细分析了动态波纹振幅与声波入射角、样品厚度以及入射声 波频率的关系，从而得出动态波纹振幅随入射声波频率周期性出现主最大值、 次最大值和零值。经过对系统的综合分析，计算并获得提高系统响应的方法。 其次，运用软件Matlab6．5对数学模型进行数值仿真实验，仿真实验结果 与理论结果相对照，从而检验光学抛光型分层介质传输规律和数学模型的正确 性。 最后，根据理论分析结论和数值仿真实验的结果，以提高系统灵敏度为目的， 对传统SLAM系统进行改造设计，运用改造后的声学台对一些电子材料进行 SLAM检验并得到了清晰地声学图像。整个工作不但为SLAM升级换代和实际 应用提供了理论基础，而且给出了声学台改造设计方案以及得到经改造的清晰 的声学图像。 应指出的是：声波在光学抛光型分层介质中的传输规律，声波以全内反射 角入射传输规律和获取系统最佳灵敏度的分析方法及其结果和其应用方向是目 前国内外文献未见报道的内容，属于本论文的主要创新部分。 关键词： 激光扫描声学显微镜，抛光，全内反射角 屯子科技大学研究生论文 Abstract Asanew-typehigh-efficientNDT(Nondestructive Laser Acoustic in areasboth the of (Scanning Microscope)isservingeffectively biomedicalandmaterials teclmology． In the electronicsinformationscience of realm，the manufacturing development technicsatthe the and and minuteness manufacture，the large—scale integration digital to same electronicsmaterialsandelectron—elementsare slices．Atthe time， designed is to