采用热丝化学气相沉积法制备SiCN薄膜地研究.pdfVIP

第41卷第 1期 中南大学学报(自然科学版) Vbl4l No 1 2010年2月 Journa1ofCentralSouthUniversity(ScienceandTechnology) Feb．2010 ． ． ．． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ．． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ．． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． — — — — 采用热丝化学气相沉积法制备SiCN薄膜的研究 赵武，屈亚东，张志勇，负江妮，樊玎玎 (西北大学 信息科学与技术学院，陕西 西安，710127) 摘 要：采用热丝化学气相沉积(HFCVD