la0.7a0.3mno3薄膜的应变和气氛退火效应研究.pdf

摘 要 摘 要 自从掺杂锰氧化物R A MnO （此处R 为三价稀土离子如Pr ，La ，Sm；A 1-x x 3 为二价离子，如Ca ，Sr，Ba ）巨磁阻（CMR ）效应发现以来，该类化合物就引 起了人们广泛的研究。这不仅因为他们具有巨大的潜在应用价值，更是因为其内 部存在的电荷、自旋、晶格以及轨道等多自由度之间的相互作用使其在理论和实 验研究上有着很强的吸引力。CMR 薄膜由于其在实际应用上的优势显得特别有 趣。除了在块材中有着主导作用的A 位子半径以及掺杂浓度x 等制约参数以外， 衬底和薄膜之间的双轴应变在控制薄膜性质方面扮演了重要的角色，例如居里温 度，磁晶各向异性，输运性质等。CMR 薄膜在应变下往往表现出区别于块材的 性质。多数情况下，张应力会抑制铁磁性降低铁磁居里温度 T ，这可以从应力 C 引起的MnO6 八面体的变化加以考虑。随着研究的深入，人们发现了一些例外的 情形，表现为张应力对铁磁性的加强。 尽管低掺杂的La Ba MnO 材料相比其他CMR 体系具有较大的室温磁阻率 1-x x 3 和较高的居里温度 T ，但是人们对其研究却很少，特别是LBMO 薄膜。KanKi C 等在研究 La Ba MnO /SrTiO 薄膜时发现，张应力会使得薄膜的 T 升高，磁 0.8 0.8 3 3 C 阻效应增强。这一结果与其它CMR 体系不同，表现出反常的应变效应。因此， 我们以 La0.7Ba0.3MnO3 为研究对象，采用失配度较大的 LaAlO3 衬底来研究其外 延膜的性质，作为对比我们还选择了失配度较小的SrTiO3 衬底。本论文对LBMO 薄膜的应变效应进行了研究，并对这种强应变的LBMO/LAO 薄膜的退火机制进 行详细的探讨。此外，我们在较薄的LBMO/LAO 薄膜中观察到了明显的相分离， 对产生相分离的原因进行了分析，并运用微加工技术进行了验证。 本论文共有五章，内容如下： 第一章，首先对CMR 锰氧化物的研究现状做了简要介绍，然后对其晶体结 构、J-T 畸变、磁电子结构、相图以及渗流输运等基本性质给出了扼要的分析， 最后对锰氧化物薄膜的相关性质做了较为详细的讨论，指出应变和氧含量对薄膜 性质和结构有着重要的影响，并总结了在锰氧化物薄膜中经常用到的几个理论模 型。 第二章，首先介绍了薄膜的制备和表征方法。然后对利用DC 磁控溅射方法 I 摘 要 制备的LBMO 薄膜进行了相关表征。最后，重点研究了LBMO 的应变效应，发 现对于高温氧气氛退火的LBMO/LAO 薄膜，随着膜厚的降低，薄膜的金属绝缘 体转变温度TP 和居里温度TC 均单调下降，压缩应变使得系统的铁磁性和金属性 受到压制，这从与LBMO/STO 薄膜的对比中更容易看出，利用双轨道模型对此 做出解释。 第三章，首先，对薄膜的退火机制做了详细的探讨，我们发现退火主要造成 ab 面内的氧原子向 c 轴方向转移，外界氧扩散仅有次要作用，高温氩气氛退火 的数据证实，面内压缩应变越大，氧原子在面内聚集越多，薄膜整体氧含量越高。 其次，研究了 LBMO 薄膜氧分布在退火下的进展状况。结果表明，在中等温度 下ab 面内的氧原子向c 轴方向转移过程较为缓慢，此过程可以通过退火时间控 制。最后，在中等退火的较薄的LBMO/LAO 薄膜中观察到了相分离现象，并指 出相分离的出现是压缩应力和氧空位（或分布）两者协同作用的结果。 第四章，首先研究了薄膜的磁阻效应，发现高温氩气退火和中等氧气氛退火 的LBMO/LAO 薄膜具有较大的低温磁阻率，且这一磁阻在较大的外场下仍不饱 和，在一定程度上印证了相分离的存在。然后通过电阻率数据的拟合，我