微纳结构雕薄膜的形貌仿真与光学特性计算.pdfVIP

微纳结构雕塑薄膜的 形貌仿真与光学特性计算 专业：光 学 硕士生：余梦影 指导教师：江绍基 摘要 随着倾斜沉积方法制备的雕塑薄膜作为一种新型的可控材料引起广泛关 注，微观形貌仿真、实验过程模拟、特性计算等计算机辅助方法使雕塑薄膜制 备工艺建立在更可靠的科学基础上，并可研究实验条件受限下的情况，因而在 该领域中起到越来越重要的作用。 本论文研究了薄膜的二维成核生长过程并建立晶格动力学蒙特卡罗二维仿 真模型，讨论了不同温度、沉积速率下薄膜二维生长形貌的模拟结果，研究了 表面扩散过程对成核和熟化行为，以及薄膜的微纳结构尺寸和微观形貌密度的 影响。针对计算机执行效率的提高，本论文提出改进高温和低沉积速率时搜索 过程耗时较长的并行算法。 由于在薄膜的三维生长中表面扩散比层间扩散的发生概率大得多，本论文 在二维生长研究的基础上，建立了弹道入射的薄膜三维蒙特卡罗形貌仿真模型。 研究了倾斜沉积情况下，沉积角度、沉积速率、基片旋转方式等参数对雕塑薄 膜形貌的影响