宽光谱高衍效率金属介质膜光栅衍射特性研究.pdfVIP

摘 要 Pulse 超短高峰值激光脉冲的产生过程中啁啾脉冲放大(ChirpedAmplification CPA)系统起着关键性的作用，而脉冲压缩光栅为CPA系统的核心原件，因此设计并 制作高性能的脉冲压缩光栅成为重要的研究课题，金属介质膜光栅结合了介质的高 衍射效率特性和金属的宽光谱特性，逐渐成为宽光谱金属介质膜光栅优化设计和制 各的重要研究方向。 本文主要开展以下研究工作：(1)以严格耦合波方法为理论基础，建立了金属 介质膜光栅的理论分析模型。以光栅衍射效率优于97％和工作带宽作为评价函数， 通过对光栅的参数(周期、槽深、剩余厚度、占空比、入射角)进行优化，构建宽 光谱高衍射效率金属介质膜光栅的优化设计方法；(2)为了提高金属介质膜光栅膜 层的稳定性，减少工艺误差，采用两层非规整介质膜层(膜层光学厚度为非四分之 一波长)的结构设计高反射膜，该膜系确保了光栅的衍射性能不受物理损伤的影响； (3)对所设计的宽光谱金属介质膜光栅槽深、占空比、剩余厚度、入射角等参数进 行了工艺容差分析，以对光栅制备工艺给予理论指导。 本研究针对啁啾脉冲放大系统中常用的800纳米和1053纳米两个波长，基于上 述优化设计方法，重点开展