束匀滑衍射学器件的设计方法和制作工艺.pdf

摘要 摘要 本论文围绕国家重大项目，结合高功率激光器装置需求，对衍射光学元件 的理论设计、加工工艺、测试应用等方面进行了系统的论述，其主要研究内容 及获得的成果如下： 一、基于平面靶设计精细化采样的插值迭代算法 用传统的输入．输出算法(I．0：Input．OutputAlgorithm)进行束匀滑器件的 迭代设计时，算法仅对输出面上采样点的光强进行了强制反馈，在设计结束后， 在输出面采样点上能够获得比较好的束匀滑效果。如果将输出采样加密，在原 采样点集之外的抽样信号，其光强值会有较大的起伏。在数值计算上，利用信 号采样的内插定理，可以由原采样点计算得到这些非采样点的抽样信号，基于 这一原理提出的插值迭代设计方法在迭代的过程中加入了插值点的反馈，在输 出平面上做波阵面的恢复时，其振幅、位相分布能获得更好的反馈影响，就使 得输出面上采样点的光强分布在迭代过程中能够获得更好的均匀性。利用这种 方法不但可以提高设计结果的评价，而且能比较稳定的提供一个较好的初始位 相解，为进行下一步的模拟退火优化奠定了较好的基础。 二、提高衍射光学元件的真实衍射效率 在之前的束匀滑器件设计中，通常采用的是较少的子单元数量，主