氧化物和氮物特殊纳米结构的化学气相法制备研究.pdf

摘要 摘要 作为半导体材料，纳米结构的氮化物和氧化物(包括氮化镓、氧化锡、氧化 铟等等)在纳电子学、纳光子学等方面的应用在过去几年中受到了很大关注。有 关这些半导体纳米材料的许多制备方法和结构不断被报导。 在众多制备氮化物和氧化物半导体纳米材料的技术路线中，化学气相沉积是 一种颇受青睐的制备方法。利用气相法制备的半导体纳米材料的形貌可控性强， 更重要的是产物的晶体质量高、产量大。另外，通过对生长条件的控制，可以制 备出各种纳米结构：而对生长气氛以及源的种类、衬底位置，还有温度梯度的调 节又使得掺杂、异质结和超晶格纳米结构甚至超薄的半导体纳米材料的制备成为 可能。 基于以上原因，本论文的工作将主要建立在使用化学气相沉积法制备氮化物 和氧化物半导体纳米材料的基础上。论文的工作主要包括以下几方面的内容： 1．具有锯齿状形貌的氮化镓纳米管的制备和发光研究 我们合成了锌掺杂的、并且有着锯齿状形貌的氮化镓纳米管。这种单晶的纳 米管有着六角形的截面，壁厚在10nrn左右。通过TEM成像和SAED衍射，我 1l 们确认这种纳米管有着交替的{01)极性面。纳