用于激光束形的衍射光学元件的设计.pdfVIP

I㈠瞅四炒Y1 用于激光束整形的衍射光学元件的设计 摘要 近年来，随着光电产业的蓬勃发展，激光的应用领域日趋广泛，对于光束整 形的需求也日益扩大。由于衍射光学元件(Dim氇ctive叫icalElements，DOE)具 有厚度薄，重量轻、易于复制等诸多优点，目前已经成为激光束整形领域的一个 研究热点。利用衍射光学元件进行激光束整形的原理是基于光波的衍射理论，采 用计算机辅助设计，并结合超大规模集成电路制作工艺，在基片上刻蚀产生两个 或多个的台阶深度的浮雕结构。 本文详细论述了用于激光束整形的衍射光学元件设计的理论基础和设计方 法，并针对高斯光束的整形进行了初步的实验研究。本文主要工作如下： 首先，介绍了DOE设计所必需的理论基础，即标量衍射理论，并给出了DOE 的设计原理以及评价DOE性能的评价函数。详细地阐述了如何利用GS算法、 模拟退火算法和遗传算法来设计DoE，并对于将入射的平行光束整形成人字形 图案的问题，比较了三种方法设计得到的结果，并通过光学实验进行了比较。提 出了一种混合遗传迭代爬山算法，将遗传算法和迭代量化