硅基集成化光调制器的研究.pdfVIP

摘要 摘要 现代光通信技术正在向单片集成高速大容量全光网络的目标发展，由于光学 回路的运算速度比电子回路快一万倍，光互连技术成为光通信信息处理的重点课 题。如何在同一个高密集芯片上产生光、传输光、探测光、控制光、应用光成为 国际学术界的研究热点，那么核心问题就是集成。Si是目前大规模用于电子集成 技术的材料，在光通信波长范围内具有很好的光透性，同时它具有高折射率，利 于实现高折射率差系统结构，适合制作各种结构紧凑的光波导器件，另外其工艺 与成熟的互补金属氧化物半导体(CMOS)-V艺兼容，便于实现光子、光电子集成。 大规模集成光路要求器件的结构紧凑、性能优越、工艺成熟、成本低廉，那么绝 缘体上硅(soi)技术是合适的选择。为了能够实现硅基高密集集成光路，减小光波 导的尺寸是必然的趋势。研究亚微米SOI光波导的光传输特性以及基于亚微米SOI 光波导的各种器件成为国际学术界的难点、热点。微环谐振器是集成光路中最重 要的器件之一，单一器件能实现多种功能，例如滤波、开关和调制器等，是光分 插复用的基本单元；电光调制器和电光开关分别调制光信号和路由光信号，是全 光网络的关键器件。因此，硅基集成化电光调制器的研究为集成化光网络实现商