磁控溅射制cigs薄膜太阳能电池的研究.pdfVIP

llIIII I TII TI UT 1 11 II IIl YI 960566 磁控溅射制备CIGS薄膜太阳能电池的研究 摘要 众多优点成为近些年太阳能电池领域的研究热点。这种电池的性能主要由吸收层CIGS 薄膜的质量决定，目前其主要制备方法有：共蒸发法、金属预置层后硒化法、电沉积法 和喷雾高温分解法等，然而由于CIGS薄膜结构复杂，结晶成膜要求条件较高，以共蒸 发法和金属预制层后硒化法为主的制备方法还存在着各种各样的问题，忸碍了其产业化 的进程。 本文利用磁控溅射方法制备了CIGS薄膜太阳能电池各层薄膜，研究了溅射的工艺 参数以及退火温度对薄膜结构和各种性能的影响，研究的结果不但有利于制备具有特定． 吸收层，缓冲层和窗口层，更有利于简化CIGS薄膜电池制备工艺。本文在综合评述CIGS 薄膜太阳能电池研究进展的基础上，对CIGS