离子束掺杂氧化钛纳米薄膜光学性能的影响.pdfVIP

摘要 摘要 Ti02薄膜是一种性能优良的半导体材料，由于具有光催化活性高、化学性能 稳定、安全无毒以及成本低廉等优点，作为环保型光催化材料在环境工程、生物 医学、材料科学以及人们的日常生活等领域中都有着广阔的应用前景。但实现其 可见光催化一直是研究的难点之一。本论文用射频磁控溅射法在各种不同的制备 条件下在医用载玻片上成功地制备了Ti02薄膜，并提出了一种利用离子注入对 Ti02薄膜进行N掺杂的方法。考察了不同的氧分压、基片温度、退火温度、水热 处理温度对Ti02薄膜性能的影响，对N掺杂后的Ti02薄膜光学性能进行了研究。 测试Ti02薄膜中元素的化学价态，用原子力显微镜(AFM)观察了Ti02薄膜的表 面形貌，用紫外．可见光吸收谱(UV二Ⅵs)测试了Ti02薄膜的光学性能。 研究结果表明： 1．用射频反应磁控溅射法在医用载玻片上成功地制备了Ti02薄膜，薄膜呈透 明状态，表面晶粒均匀、致密，在可见光范围内，对光的平均透光率都在80％以 上。各组Ti02薄膜在N掺杂后，薄膜的透明度下降，但其在紫外可见光区的吸收 强度有明显的增强，且吸收边也会发生移动。 2．基底温度对Ti02薄膜晶粒尺寸有很大影响，随