软磁薄膜面单轴各向异性的调控.pdfVIP

摘要 随着垂直磁记录材料、GMR磁头技术和无线数据传输技术的不断发展，迫 切需要提高软磁薄膜的使用频率。在饱和磁化强度无法继续提高的背景下，面内 单轴各向异性的调控在软磁薄膜的制备过程中变得十分重要。本文中，利用射频 磁控溅射和微磁学模拟OOMMF程序等工具，在实验和模拟两方面研究了调控 软磁薄膜面内单轴各向异性的方法。得到的卡要结果如下： 1、 通过改变溅射气体Ar的流量和倾斜溅射偏角，系统研究了溅射条件对 CoNb软磁薄膜的面内单轴各向异性和软磁性能的影响。结果表明：随着 Ar流量的增加，CoNb薄膜的面内单轴各向异性和软磁性能逐渐变差。而 随着溅射偏角逐渐增大，CoNb薄膜的面内单轴各向异性场的大小随之增 大，方向并未发生明显的变化。 2、 通过改变Nb含量可以有效地控制CoNb软磁薄膜的而内单轴各向异性场 和矫顽力。实验结果表明：CoNb软磁薄膜面内单轴各向异性场的火小并 不随Nb含量单调变化，向是在某一Nb含量处出现极大值；而矫顽力随 着Nb含量增加单调降低。并成功制备得到了具有730Oe面内单轴各向 异性场的CoNb薄膜。 3、 利用微磁学模拟研