飞秒激光制太阳能电池用黑硅材料及其特性研究.pdfVIP

摘 要 本文首先综述了黑硅材料的研究发展过程。其次，在一定的气体氛围条件下，采 用飞秒激光脉冲照射硅片表面，成功地制备出黑硅材料。在扫描电子显微镜下观察了 黑硅表面的森林状尖峰结构。研究了激光脉冲个数，气体压强，周围气体氛围条件等 355啪)也在 参数对黑硅表面微纳结构的影响。另外，采用纳秒激光光源(Nd：YAG 硅表面制备出尖峰状微结构，并研究了纳秒激光条件下，气体种类和气体压强对硅表 面微纳结构的影响。最后，论文对以上两种激光光源条件下所制备的微纳结构的吸收 特性进行了分析并对黑硅在太阳能电池上的应用前景进行了展望。 关键字：飞秒激光微结构硅黑硅太阳能电池 ABSTRACT hasbeensunⅡnarized．B1acksiliconhasbeen Theevolutionofblacksiliconfabrication f．abricated f．emtosecondl髓eraSsisted谢m