间距和密度控氧化锌纳米棒阵列的构筑及其光电性质研究.pdfVIP

摘要 摘要 ZnO纳米棒阵列具有很多优点，比如能增强光吸收、提高载流子收集效率和延长少 数载流子寿命，这些优点广泛应用在场发射器件、气敏检测、太阳能、纳米发电机和紫 外光检测器中以增强它们的工作性能。ZnO纳米棒阵列的间距和密度能够影响基于ZnO 光电器件的光电响应和载流子传输性质，通过调控ZnO纳米棒阵列间距和密度可以极 大的提升ZnO器件的工作性能。电子束刻蚀技术具有高精确的加工精度，结合低温、 低能耗的ZnO水热生长技术能构筑不同密度和形貌的ZnO纳米棒阵列。研究ZnO纳米 棒阵列间距和密度对ZnO光电性能的影响，在将来基于ZnO纳米棒阵列的纳米器件中 具有重要的意义。本文主要在以下几个方面开展了相关的研究工作： l、利用磁控溅射技术在硅、玻璃和ITO导电玻璃溅射一层锌膜，然后再用水热合 成法在低温中进行生长ZnO纳米棒垂直阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射 结构进行表征和分析。实验结果表明：ZnO纳米棒阵列在各种基底上均能获得：高分辨 结果表明纳米棒阵列有很好的带边发光峰，而没有发现由于表面态而引起的缺陷发光光 谱。 2、利用电子束刻蚀方法在硅基底上制备出不同间距和面积的ZnO种