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国产镀膜机作业指导书
1. 目的/范围
规范镀膜操作工艺，确保安全生产。
1膜厚控制方式：过正极值法定值法镀膜步骤：(重要环节/语言很难描述的环节)
2.2.2北仪：依次开（维持泵扩散泵扩散泵（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔秒
2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。如果热机.4抽真空前准备：
2.4.1北仪： 按充气阀对真空室充气，充气完毕关气阀气阀对室充气充气完毕关气阀。打开室门，清室内的粉尘，
北仪：将用过的光控片光控片更换光控片添加膜料检查光路检查单色仪（入射光狭缝出射光狭缝0.12mm）电子枪挡板电子枪偏转（XY）离子源如有异常应及时修复。将工件装入室，同时根据需要装上陪镀片。确认无误后关闭真空室门
2.5抽真空：
2.5.1北仪：开机械泵，预抽阀，当真空P=100Pa时，开光栏阀室真抽至Pa时，开罗茨泵，抽Pa时Pa)，关闭预抽和光栏阀，开前级阀高阀当镀膜室真空抽×10-2Pa时，关闭罗茨泵，当镀膜室真空抽，提高工件旋转至，准备镀膜.6镀膜前准备：
2.6.1北仪：开启光控膜厚仪电源，光源电源，以及光电倍增管高压电源开关，将光信号调到预定值（见相应《镀膜生产工艺卡》），打开电子枪源，
2.6.3按5.1进行电子枪的开启，详细的参数设定见各《镀膜生产工艺卡》。
2.6.4将坩埚旋转到预定位置后，缓慢增加束流，调整电子枪横纵座标旋钮，直至坩埚内膜料全部熔化。
2.6.5以上所调参数按《镀膜生产工艺卡》设置。
2.7镀膜：
2.7.1将膜厚控制仪数值调到固定值，打开挡板，通过铅玻璃观察光斑位置，以免光斑打到坩埚边缘引起短路，切忌用眼睛直接观看电子枪束流和离子源灯丝。时刻观察束流、蒸发速率、膜厚仪参数及离子源参数，如有波动，及时调整，所有参数应认真、准确填写在《镀膜生产记录表》中。
2.7.2光控：膜厚控制仪达到预定数值（或极值）时，及时关闭挡板，降低束流直至为零，记录相关数据后，按第一层镀膜步骤镀第二层，直至镀完所有膜层。
晶控：程序编写由工程师完成，跟据《镀膜生产工艺卡》各层设定好程序，将厚度信息写入PROCESS及TOOLING和RATE信息写入MATERIAL，并由PROCESS调用相应的MATERIAL（如果已经存在，可以直接调用，如果不存在，需要实验确定有关参数），《镀膜生产工艺卡》中必须有调用程序名称。中途出现异常按abort，不要按reset，故障恢复后按两次start可继续镀膜。操作员镀前跟据《镀膜生产工艺卡》核对晶控设定是否符合工艺参数，如有疑问中止进行并及时反馈给工程师。打开挡板后，通过铅玻璃观察光斑位置，以免光斑打到坩埚边缘引起短路，切忌用眼睛直接观看电子枪束流和离子源灯丝。
全自动步骤：将手动开关转为自动。按晶控START→跟据《镀膜生产工艺卡》按↑或↓选择相应过程→再按START，开始镀膜，直到程序自动结束。
半自动： 按START→跟据《镀膜生产工艺卡》按↑或↓选择相应过程(晶控厚度设定均很厚)→再按START→，跟据光控或晶控，第一层达到厚度按下触发按钮，晶控自动进入下一层 →，跟据光控或晶控，第二层达到厚度按下触发按钮，晶控自动进入下一层…… 如此直到最后一层镀完。
手动：设定程序均为单层,晶控厚度设定均很厚，按START→跟据《镀膜生产工艺卡》第一层材料按↑或↓选择程序(第一层)，→厚度达到工艺规定值时手动关挡板，→关闭电子枪挡板,降低束流到0，并按ABORT→RESET，开始下一层，按START→跟据《镀膜生产工艺卡》第二层材料按↑或↓选择程序(第二层)，→厚度达到工艺规定值时手动关挡板……如此直到最后一层镀完。
2.8镀膜后工作：
2.8.1按5.6进行电子枪的关闭操作。
2.8.2按6.6进行离子源的关闭操作。
2.8.3北仪：冷却10分钟之后，依次关真空计高阀前级阀机械泵工件旋转速度降至。10分钟后充气，开室门。.8.5测量陪镀片将镀好的产品取出光学指标后，装好送检。陪镀片
2.8.6 重复的步骤，开始下一炉的作业。.9关机：
北仪：在整机停止工作前，扩散泵必须冷却0分钟以上，才能关闭总电源，水源，气源。。扩散泵冷却，镀膜机总电源。冷却水空压机电源白光纤必需用固定在工件盘上避免工件盘转动时夹具翘起
3.2镀膜机只要有水气电的开启就必须有人到机台后方巡逻，如在巡逻过程中发现异常，要及时通知领班和机修。
4清洁规范：
4.1日常清洁：
4.1.1机台前半部机器表面，用布擦拭灰尘。 1次/每天早晨
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