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2015-10-25 发布于贵州
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tempoal evolution of surface structure and morphology in thin-film growth

CUN‘lEN’l。S 中文摘要……………………………………………．1 ABSTRACT………………………………………2 1．Surface and DynamicScaling……．……．……4 Roughening 1．1 Surfaces……………………………．5 TypesofRough MoundedSurfaces………………………………．5 1．1．1 Surfaces…………………………．．6 1．1．2Self-Affine 1．2 Surfaces…………………………6 Rough Describing W．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7 1．2．1Interfacewidth Lateralcorrelation 1．2．2 length孝………………………．．8 1．2．3 exponent口……………………………9 Roughness 1．3DynamicScaling Mode…．．…．………．．．．．．．．．…．．13 2．TheRe．emission 2．1Theoreticalmodel．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13 2．2Incidentflux．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15 mode 2．3The 2．4 coefficients．．．…．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17 Sticking Carlo 2．5 ofMonte Advantage Carlo 3．Monte 3．1．Simulation parameters．．．．．．．．．．…．．．……．．．．．20 ofincidentflux………．．．．…．．…．．．．．2l 3．2．Direction of 3．3．Mode thereemissionmodel……………………．．22 of 3．4．Availability 4．Effectivecoefficient．．．．．．．．．．…．．．．．．．．．．．．．24 sticking S versustimet．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24 4．1．Effective with notwidth……………．．25 S isconsistent 4．2．Effective slope S versus 4．3．Effective slope．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28 4．4．Saturatedeffective coefficientSversusSO．．．．．…．．30 sticking 5．Flux Effects．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33 Angle 6．Conclusionsandfuturework……………………………36 cited……………………………………．39 8．Literature 摘要薄膜生长是一个非常复杂的随机过程，它实质上是一个动力学的表面粗糙过程，通常发生在远离平衡态。薄膜生长过程中的结构和形态的研究在很多领域都有实际的应用