半导体激光器干涉测量技术应用的分析.pdf

摘 要 半导佑激光干涉技术是以半导体激光器为j毪澡，在传统干涉结掏的基礁上不 断创新，综合应用现代光电子学、信号处理、精密机械等多个领域的新成果而形 成的，是一种实用性强、应用面广的技术。作为高精度计量测试的主要手段之一， 不但可以用于几何量的测量，而且可以罔于非几何羹如力学量等的高精度测量。 结合光纤传感器，可以设计出具有准确皮高、菲接触、体积小、结构简单等优点 的测量系统。 本文在分析国内外研究现状和成果的基础上，利用半导体激光器外差干涉测 豢位移憨方法，开发了高精度魄珏力溺羹系统。该测蘸系统由压力一经移变换传感 器和由半导体激光器、光纤传输装置、光电探测器、处理电路、计辣机等构成的 干涉测量装置组成。该传感器具有结构简单，成本低的特点，使用不同的膜片， 传惑器可以实现不同量程和不同精度的扩展，以适用于不同的测量要求。另外， 通过光纾分潞器实现了多邋道的测量。通过秘诗算橇的通信，实现了对多台测量 仪器的监控。主要内容如下： 分析了半导体激光器干涉测量方法和调制方法，对外差干涉测量和注入电流 调谐徽了理论分析，透过对半导体激光嚣驰调谐特性秘温度特性静分轿，据毒了 半导体激光器光源系统的实验设计指标：注入电流的波动必须小于O．5}IA，温度变 化应在±O．1℃的范围内。设计了温度控制，功率控制，锯齿波驱动电路，并对半 导体激光器的波长一电流特性、功率一电流特性避行了测量。 理论分据了自聚焦透镜鲍光束交换特性，设计了一种分段式囱聚焦透镜用于 扩束和耦合，实验证明可以极大地降低安装精度要求。 对弹性膜片进行了分析和比较，并对具有线性特性曲线的E型波纹膜片的特 憔睦线逮看了测量，设计了压力传感器。 设计了由半导体激光器、光隔离器、单模光纤、光分路器、自聚焦透镜、光 电探测器组成的光路。jc=j各个单元的特性进行了测量，给出了一些重要数据。 设计了半母体激光器的注入电流锯齿波驱动电路鞠信号处理电路，绘出了测 懋系统电路处瑾部分的原理圈及实验数据，并对结果避行了分千斤。编制了单片梳 拟合程序和与上位机通汛的程序；上位机软件实现了传感器管理、数据管理、图 形显示等功能。 最后，在位移相对测爨方法的基礁上黯缝对澜量方法进行了一些獗究。 关键词：半导体激光器外差干涉注入电流调谐光纤传熙器自聚焦 透镜波纹膜片 ABS丁f矾CT laser 111es咖iconductor a used in概m哪ispracticalaIld耐delytechnoIogy seIniconductorl蝴觚d ime血嘲∞ bascsonme廿adi矗onal 1lla士锄ploys 0ptical 鲰mc呲ta妇n new卸hie、，emcIltsofme氏lds也缸inVolves shapebyiIlte掣a=ting modern amainmc也odof photo·ele嘶cs，si鲫Ialprocessillg，prcci∞mecllallics，etc．As caIlbe_Ilsedt0measure Variablesand me笛晡n岛it algori(hIn high．precision sllch够mechallics mat and non-algoritIllIl嘣ablesV撕ables．Usingtec王1Ilology call no“瑚tact have