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显微数字散斑技术研究与运用 中文摘要 中文摘要 随着微电子、表面工程、生物和医学材料的高速发展，应用和开发的结构和 器件的特征尺寸越来越小，正确评价和研究这些结构和器件的热、力学性能需要借 助基本的检测技术和检测平台，本文将数字散斑相关技术和显微技术相结合，进行 显微数字散斑相关方法的研究。本文主要内容如下： 1、提出双CCD应变测量方法，并建立双长距CCD应变测量系统，使数字相 关应变测量灵敏度由二十微应变提高到一微应变，为工程材料的力学性能测试提供 了非接触、大变形、高精度和数字化的测量新技术。 2、详细讨论了数字散斑相关测量中噪声对相关测量精度的影响，将CCD噪声 分为时间噪声和空间噪声，对噪声规律进行统计，并在此基础上提出时间平均法消 除数字噪声的方法。 3、用环形LED冷光源代替传统斜入射光源，消除了附加热变形对显微数字相 关测量的影响，大大提高显微相关测量精度，并将环形灯照明与传统斜入射进行比 较，分析了环形灯照明场的光强分布及其对散斑灰度及形貌的影响。 4、设计适合显微成像条件下使用的自动控温系统，控温精度可达l度，利用该 控温系统和显微成像系统完成O．8mm芯片焊点热变形测量。 关键词：数字散斑，相关算法，显微散斑，应变测量。双长距CCD显微镜 作 者：杨勇 指导教师：顾济华 显微数字散斑技术研究与运用 英文摘要 Abs仃act Asthe ofthemicroelectronic of development technique，projectsurface， andmedical characteristicdimensionsofthe and bioengineeringstuif,the framedevice we are smallerandsmaller．Wenewmeasure becoming need and explored technology to validvaluationofthese combines platform devices，which give digitalspeckle correlation andmicro in main technique image researchedthis technique，is paper．The contentsofthisthesisare嬲follows： 1．Anew correlationmeasurement basedondouble highaccuracydigitalimage system CCD is methodincreasesthe ofstrain