光波导近场学显微检测关键技术研究.pdfVIP

硕士学往论文 1卸皤IS ◎MAsⅡR’S 摘要 光波导的近场光学显微检测是近年出现的一种新型检测技术，本文对此技 术进行了初步的理论和实验研究。对近场光学显微镜而言，光纤探针制备与探 针一样品间距控制是保证成像质量的两个关键因素。在光纤探针制作方面，本 论文提出了一种变温腐蚀制备光纤探针的新方法，获得了35～52度的大锥角光 纤探针；进一步对光纤探针腐蚀成形过程进行定量研究，发现当光纤直径腐蚀 减小到一定程度以后，腐蚀速度随直径变小而加快；通过对多次实验结果进行 拟合，得出了光纤直径随腐蚀时间变化的定量经验公式；借助该经验公式从理 论上定量模拟了变温法获得大锥角针尖的过程。在探针一样品间距控制技术方 面，分别对超声共振法和双压电晶片法进行了实验研究，设计加工了一个超声 共振法分时驱动检测电路，采用锁相检测技术测量了不同长度的双晶片的共振 峰，得到了双压电晶片共振振幅随探针．样品间距减小的变化曲线。为了检测 大尺寸光波导，搭建了一套大范围近场光学显微镜，其检测范围可达到80ram X80ram，并测量得到了光波导表面的光强随探针样品间距变化曲线。最后用有 限差分束传播方法模拟了不同入射角度时条形光波导中光场的传播，数值结果 与光线法一致。 关键词 光波导近场光学显微镜光纤探针有限差分束传播方法 Abstract a onthemeasurementof field made light Thethesis investigation primary near—field microscope distributionof scanning optical waveguidesusing optical forfiber themethods has on (SNOM)。a that emergedrecently．Studies tip technique fabricationand distance arevitalfor highquality tip—sample controlling．which ofthefirst ofthetheses-A SNOM theresearchfocus part imaging，were forfiber Was method proposed，with etching tippreparing varying-temperature be made． whichfiberwithcone as as35-52 could