光纤点衍射涉仪数据处理与系统标定.pdfVIP

摘要 点衍射干涉仪这一物理思想，早在1972年Smartt和Strong就已发明，由 Smartt和：Steel做了进一步发展，并成功的用于检测天文望远镜，它结构简单， 对光源没有特殊要求，近年来，由于光纤制造工艺以及耦合技术的发展，单模 光纤纤芯不断缩小，为光纤点衍射干涉仪得以发展提供了前提条件，该干涉仪由 激光照明，除了检测会聚波前外，还可以用来检测反射凹球面，进而应用到单个 面形的检测：另外，光纤点衍射干涉仪最大的优点是不需要标准镜，在干涉检测 中，标准镜是检测精度受限的很大原因，光纤点衍射干涉仪能绕开这一难度，为 进行高精度的光学检测提供了广阔的前景。 光纤点衍射干涉仪是利用光纤产生标准的球面波，用压电陶瓷实现相移，用 CCD来接收图像的检测凹面面形的仪器。本文从干涉仪的调整出发，论述了整 个数据处理过程。 首先，经光纤耦合输出调整得到干涉图，采用四步相移方法，控制干涉图位 相变化，实现相移； 数据处理过程中，考虑压电陶瓷的非线性影响，进行标定； 对位相进行模式展开连续性处理，得到实际位相； 用zemike多项式正交化方法分析，在离散点上处理数据，经VisualC++程序 设计，得到多项式系数，计算出面形分布，同Zygo所得结果进行比较。取得了 较好的实验结果。 关键词：点衍射，光纤，压电陶瓷，位相展开 ABSTR^CT PointDiffractionInterferometer-a inventedSmarttand idea，is by physical Strong totestastronomical in1 Smarttand used has 972，advancedby Steel，and telescope，it structureandhasnot demandto the of simple special source，recently，withdevelopment and modemfiber’scenteris fiber’smanufacture technology,thesimple coupling smallerthan makeit to FiberPointDiffraction before，this possibleprogress additiontotest cantestthereflective Interferometer(PDI)，inconvergentwavefront，it concave．theexcellenceofPDIisthatitdoesnotneedstandardmirror．inintereference the standardmirroristhemainreasonwhichlimit of testing，the improvement canavoid to thewidefuturefor precision，PDIdifficultyprovide highprecisiontesting．